主要特點：
▏多軸聯動環切技術，保證環切精度。
▏定制化工作臺設計，保證TAIKO工藝下晶圓特殊結構穩定加工。
▏四工位，多片協調加工，加工效率高。
▏全自動上下料、傳輸定位、清洗 、解膠、取環，實現全自動運行模式，大大降低OP工作量。
▏穩定的TAIKO外環解膠和取環。
▏兼容性好，與市面上的其他類型設備，關鍵耗材兼容性高。
▏便捷的操作和人機交互界面。
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最大工作物尺寸 |
mm |
?8" |
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主軸 |
配置方式 |
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單軸 |
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轉速 |
Rpm |
3,000-60,000 |
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輸出功率 |
kW |
1.8(2.4可選) at 30,000min-1 |
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最大刀片徑 |
mm |
?58 |
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X軸 |
可切割范圍 |
mm |
310 |
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Y軸 |
可切割范圍 |
mm |
310 |
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單步步進量 |
mm |
0.0001 |
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定位精度 |
mm |
0.003以內/310 0.002以內/5（單一誤差） |
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Z軸 |
移動量分辨率 |
mm |
0.00005 |
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重復精度 |
mm |
0.001 |
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θ 軸 |
最大旋轉角度 |
deg |
380 |
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主軸形式 |
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單主軸，安裝硬刀盤做環形切割 |
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環切精度 |
μm |
±50 |
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晶圓定位精度 |
μm |
±50 |
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單片效率 |
min/片 |
9 |
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多片效率 |
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最多4片同時加工 |
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設備重量 |
Kg |
≈2,800 |
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設備尺寸/ W*D*H |
mm |
2,209*1,554*2,071 |
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