主要特點：
▏In-Feed磨削方式。
▏精密進口滾珠絲桿、直線導軌，Z向精密控制， 高精度
機臺長時間保持。
▏ 全自動上下料、傳輸定位、清洗 干燥，實現全自動運行
模式，大大降低OP工作量。
▏ 穩定的超薄減薄加工。
▏ 雙主軸，三工作盤，加工效率高。可同時進行粗精磨加工
▏ 兼容性好，與市面上的其他類型設備，關鍵耗材兼容性高。
▏ 便捷的操作與人機交互界面
先進功能：
? *軟件定制。
? 可用于殘片的減薄
? 具有磨輪研磨牙齒突出量計算并報警程序
? 具有多項安全與保護功能，設備前后面配備至少一個EMO緊急停止按鈕
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最大工作物尺寸 |
mm |
?8"~?12" |
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主軸 |
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雙主軸 |
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主軸轉速 |
Rpm |
1,000-6,000 |
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真空吸臺轉速 |
Rpm |
0-300 |
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Z軸最小位移量 |
μm |
0.1 |
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最大磨削厚度 |
mm |
0.8 |
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晶片磨削厚度 |
μm |
≥100 |
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厚度變化量 |
μm |
≤2 |
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不同片之間厚度變化量 |
μm |
≤±3 |
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精加工面粗糙度 |
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Ra≤30nm(2000#) （該參數主要取決于磨輪） |
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磨削方式 |
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全自動主軸進給式磨削 |
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測高范圍 |
mm |
0 - 0.8 |
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晶盒配置 |
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2 |
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設備重量 |
kg |
≈4,200 |
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設備尺寸/ W*D*H |
mm |
1,200*2,800*1,900 |
總 部：江蘇常熟經濟技術開發區海城工業坊
研發中心：蘇州相城區富陽工業坊4幢
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